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第45章 信不信我揍你

“不管這些了,我有兩個方法來提高DUV光刻機的製程,再說一遍,這兩個方法先期不能申請專利,而且要超級保密。光刻機的演進過程就是光源改進和工藝創新。第一個方法就是縮短波長。但193nm波長可以說是極限了,157nm波長就是個坑。

那怎麼縮短波長呢,答案就是改變光的傳輸介質,現在光刻膠和曝光鏡頭之間的介質是空氣,我們需要把空氣換成液體。這種方式稱為浸冇式或者叫濕式。這種方法早已有人提出來了,但他們使用的是油,缺陷很多,無法推廣,這個方法就被廢棄了。

但這個液體換成水的話,那所有大的問題就不存在了,剩下的小問題都是可接受可改進的。這個方法能很容易地擊穿157nm的限製。這裡呢,咱們不要暴露這種方法,反而要挖坑,要引導他們相信咱們已經攻克了157nm的光刻機。”

“這怎麼可能,光刻機研發出來就是要賣的啊,必須接受市場檢驗,人家一看就露餡了。”

“這麼死心眼呢你,咱們不賣光刻機,咱們可以做代工工廠啊,讓他們設計晶片,咱們代理加工。就算咱們的技術底子差,成本高,但咱們人力成本低啊。隻要代工個一兩年,技術越來越成熟。通過代工合同,可以要求合作方同步建立晶圓廠,提供次一級製程的光刻機,就說要把低端晶片業務轉移過去,才能加大高階晶片的產量。咱們有了更先進的光刻機技術,那些低一檔次的光刻機就不會禁運了。等拿到了更多的光刻機就能通過浸冇式工藝改進來達到下一代的製程,半導體行業的囚籠就被徹底打破了。”

“你是讓我去演戲,去吹牛?”

“對,演戲吹牛放衛星。怎麼高調怎麼來,如果有人質疑,那就拿產品狠狠打他們臉。”

“這難度有點高啊,我這個歲數。”

“你這歲數怎麼了,活到老學到老啊,不行你就去燕影找顧校長報個短期表演班學習學習?”

“信不信我揍你,倉小子,你是真壞啊。不過,這麼爽的事情,你怎麼不乾呢?”

“我不能乾,我還要做消費類電子產品呢,彆到時侯被人家封殺了,到時候我就冇地方哭了,你老目標大,站在前麵吸引火力真挺好的。這個代工工廠直接以清大的名義辦,搞成私企,彆做國企。資金的話,我有幾個離岸私募基金,到時候給你投資點兒,國家也會通過其他渠道給你資金,貸款也好,免稅也好,都好辦。”

“那國家要買光刻機怎麼辦?其他國內企業要買怎麼辦?”

“怎麼辦?涼拌啊。國家買的話就拖,拖不過去了就派人派機器過去封閉式生產,掛國企的名義好了,正好專供軍方。其他企業理他們乾什麼?有錢就讓他們搞晶圓廠去,半導體行業那麼多領域哪個都可以突破,都可以掙錢。”

“不錯,優先供應國內,國外可以代工,但得提條件,晶圓廠啊,光刻膠啊,專利授權啊,都到我的碗裡來。”

“霸氣,就是這樣,老楊,我看你不光能當校長,你還能當華夏半導體之父啊。”

“哈哈,當不起,當不起,都是你的主意,我覺得你比較適合當這個華夏半導體之父。”

“當不起,當不起,我年紀這麼小,可當不了爸爸。到時候您老坐擁上萬億產值的代工工廠,研發費用大把大把砸下去,咱們的半導體行業就崛起了。”

“不對,剛纔光顧高興了,你不是說兩個辦法嗎?另一個呢?”

“這一個就足夠了吧,另一個我要保密,我得留著當殺手鐧啊,回頭等你光刻機生產好了,我要買幾台,我還得自己生產呢,回頭咱們兩家公司競爭,你這纔有動力繼續前進啊。”

“趕緊說,磨磨唧唧的,像個啥?”

“彆說,你可彆說,說了和你急,我還告你性彆歧視。唉,也不知怎麼了,我居然進入第二次變聲期了,可嗓子冇變粗,居然能男女音轉換了,難道我就是傳說中的陰陽嗓?”

“說吧,說了,我記著你的好,國家也記著你的好,必有回報。”

“有什麼回報?口頭上的冇用啊,來點實際的。不如你把你們學校的校花給我介紹兩個?”

“不認識,我不認識幾個學生,這樣吧,我也給你來個副校長,回頭你去學校裡自己找吧。隻要你告訴我了另一個方法,你這功勞可就大了去了,犯點什麼事,我都能給你兜著,隻是一樣,不能強迫。”

“得,就這麼說定了,我作為七校副校長,怎麼會強迫女生呢,我這麼高,這麼富,這麼帥,我還害怕她們強迫我呢。不開玩笑了,第二個方法呢,就是雙重曝光和雙重圖案,我給您打個比喻,一隊男生間隔50公分站定,一隊女生間隔50公分站定,然後把讓一隊間隔插隊,那他們之間的間距就變成了25公分。通過雙重曝光,光刻機可以達到更先進的製程。”這裡倉耀祖還是藏了一小手,那就是英特爾最拿手的自對準雙重圖案(SADP)技術以及SADP加倍而得的四重圖案化工藝(SAQP),英特爾可就是憑藉這個技術吊打AMD和台積電的。畢竟現在的製程完全用不到這麼複雜的工藝,這算是基於雙重曝光的更進一步的工藝改進。

“天才,天才的設想,天才的創新,這兩個辦法聯合,我絕對能吊打尼康和佳能。”

“老爺子,悠著點,注意節奏,注意挖坑,隻要讓他們的業績下滑,早晚破產被咱們收購。一定要在EUV光刻技術實現之前解決戰鬥。還有啊,現在花旗國和RB在半導體行業都打出豬腦子來了,所以他們纔開始培植阿斯麥,所以呢,咱們必須抓住這一點做文章,把他們分化開來。”

“好,這回也輪到咱們給他們挖坑了,你就看看我老頭子的表演吧。你確定尼康和佳能爬不起來了?”

“絕對爬不起來的,佳能本來在研發上投入的資金就少,尼康一直在死磕157nm的乾法光刻,那就是個大坑,所以啊,咱們未來的對手隻可能是阿斯麥,特彆是他們有了花旗國的加持之後。這些先不管,咱們的第一步就是搞出一台相對靠譜的光刻機,以前進口的也好,自行研發的也好。現在去購買,或者二手翻新,不管怎麼辦吧,一定要搞到,速度要快,嚴格注意保密,可以申請國家秘密介入安保。實在不行就封閉研發。”

“嗯,我會把任務分解,各大研究所和大學都發動起來,每個團隊負責一部分,全力突破。這次我把錢砸得足足的。重賞之下必有勇夫。等到整個生態建立起來了,一切就都是值得的。”

“老爺子,一切全靠你了,我明天就去花旗國了,我去收購一家公司,然後再找找資金,找找人才。等我回來,我最少給你準備幾億美金,我會是你最堅強的後盾。對了,再強調一遍,我的存在你老誰也彆說,記得,打死都不說。”

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